Высокоскоростной композитный микроактюатор на основе сплава Ti$_{2}$NiCu с эффектом памяти формы

На основе биморфного композита из сплава Ti$_{2}$NiCu c термоупругим мартенситным переходом и эффектом памяти формы изготовлены образцы микроактюаторов и исследовано их быстродействие. Активный слой композитного актюатора представляет собой предварительно псевдопластически растянутый слой быстрозакаленного сплава Ti$_{2}$NiCu, а в качестве упругого слоя используется аморфный слой того же сплава. Типичные размеры микроактюатора – 30 $\times$ 2 $\times$ 2 $\mu$m. Управляемая амплитуда перемещения кончика микроактюатора составляет около 1 $\mu$m. Исследование быстродействия микроактюатора проводилось с помощью сканирующей электронной микроскопии. Активация микроактюатора достигалась нагревом при пропускании через него импульсов электрического тока. Продемонстрировано полное срабатывание микроактюатора на частотах до 1 kHz, частичное срабатывание наблюдалось на частотах вплоть до 8 kHz. Показана возможность работы устройства в автоколебательном режиме на частотах порядка 100 kHz.