Микроструктура и механические свойства многослойных $\alpha$-AlN/$\alpha$-BCN-покрытий в зависимости от плотности тока при распылении мишени B$_{4}$C

Были получены многослойные AlN/BCN-покрытия нанометрового масштаба путем магнетронного распыления мишеней из Al и B$_{4}$C в аргонно-азотной смеси при осаждении на подложку из Si. Эти покрытия характеризуются рентгеноаморфной структурой и имеют максимальную твердость по Кнупу (при плотности тока 100 mA) 27 GPa. Расчеты, проведенные с помощью молекулярной динамики из первых принципов, показывают, что слой B4-BN является динамически нестабильным, следовательно, он не будет эпитаксиальным, а будет аморфным или будет иметь отличную от B4-BN-структуру. Термический отжиг проведенный в вакууме от 600 до 1000$^\circ$C образцов с многослойными наноразмерными покрытиями приводит к уменьшению твердости по Кнупу до 18 GPa, однако структура покрытия остается рентгеноаморфной.