Loading [MathJax]/jax/output/SVG/config.js
Физика твердого тела
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Физика твердого тела:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Физика твердого тела, 2019, том 61, выпуск 7, страницы 1282–1286
DOI: https://doi.org/10.21883/FTT.2019.07.47838.388 (Mi ftt8754) 		 
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)

Сегнетоэлектричество

Изменение элементного состава тонких пленок цирконата-титаната свинца в процессе ионно-плазменного осаждения: эксперимент и моделирование

В. А. Вольпясa, А. Б. Козыревa, А. В. Тумаркинa, Д. М. Долгинцевb, В. П. Пронинb, Е. Ю. Каптеловc, С. В. Сенкевичc, И. П. Пронинc

a Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина)
b Российский государственный педагогический университет им. А. И. Герцена, г. Санкт-Петербург
c Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
PDF полного текста (923 kB) Список цитирования (3)
DOI: https://doi.org/10.21883/FTT.2019.07.47838.388
Аннотация: Экспериментально исследовано изменение элементного состава тонких пленок PZT, полученных методом ВЧ магнетронного распыления при вариации давления рабочего газа. Интерпретация полученных экспериментальных результатов проведена на основе статистического моделирования процессов термализации и диффузии потоков распыленных атомов Pb, Zr и Ti при ионно-плазменном осаждении тонких пленок PZT. Показано, что результаты моделирования достаточно корректно (в пределах 5%) описывают изменение элементного состава при различных значениях давления газовой среды. Проведенные исследования позволяют получать тонкие пленки PZT с заданным элементным составом, что важно для оптимизации электрофизических свойств твердых растворов, относящихся к области морфотропной фазовой границы.
Ключевые слова: сегнетоэлектрики, тонкие пленки PZT, элементный состав, моделирование ионно-плазменных процессов.
Поступила в редакцию: 21.02.2019
Исправленный вариант: 21.02.2019
Принята в печать: 26.02.2019
Англоязычная версия:
Physics of the Solid State, 2019, Volume 61, Issue 7, Pages 1223–1227
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063783419070308
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: В. А. Вольпяс, А. Б. Козырев, А. В. Тумаркин, Д. М. Долгинцев, В. П. Пронин, Е. Ю. Каптелов, С. В. Сенкевич, И. П. Пронин, “Изменение элементного состава тонких пленок цирконата-титаната свинца в процессе ионно-плазменного осаждения: эксперимент и моделирование”, Физика твердого тела, 61:7 (2019), 1282–1286; Phys. Solid State, 61:7 (2019), 1223–1227
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{VolKozTum19}
\by В.~А.~Вольпяс, А.~Б.~Козырев, А.~В.~Тумаркин, Д.~М.~Долгинцев, В.~П.~Пронин, Е.~Ю.~Каптелов, С.~В.~Сенкевич, И.~П.~Пронин
\paper Изменение элементного состава тонких пленок цирконата-титаната свинца в процессе ионно-плазменного осаждения: эксперимент и моделирование
\jour Физика твердого тела
\yr 2019
\vol 61
\issue 7
\pages 1282--1286
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/ftt8754}
\crossref{https://doi.org/10.21883/FTT.2019.07.47838.388}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=41129958}
\transl
\jour Phys. Solid State
\yr 2019
\vol 61
\issue 7
\pages 1223--1227
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063783419070308}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt8754
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v61/i7/p1282
    • Эта публикация цитируется в следующих 3 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Физика твердого тела Физика твердого тела
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:64
    PDF полного текста:26
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025