|
Эта публикация цитируется в 7 научных статьях (всего в 7 статьях)
Физика поверхности, тонкие пленки
Структурные, оптические и термоэлектрические свойства тонких ZnO:Al пленок, полученных атомно-слоевым осаждением
И. А. Тамбасовa, М. Н. Волочаевa, А. С. Воронинb, Н. П. Евсевскаяac, А. Н. Масюгинd, А. С. Александровскийae, Т. Е. Смоляроваbe, И. В. Немцевa, С. А. Лященкоa, Г. Н. Бондаренкоc, Е. В. Тамбасоваd a Институт физики им. Л. В. Киренского, ФИЦ КНЦ СО РАН, Красноярск, Россия
b Красноярский научный центр, ФИЦ КНЦ СО РАН,
Красноярск, Россия
c Институт химии и химической технологии СО РАН, ФИЦ КНЦ СО РАН,
Красноярск, Россия
d Сибирский государственный университет науки и технологий имени академика М. Ф. Решетнева
e Сибирский федеральный университет, г. Красноярск
Аннотация:
Тонкие пленки оксида цинка легированного алюминием были выращены с помощью атомно-слоевого осаждения при температуре 200$^\circ$С. С помощью рентгеновской дифракции было обнаружено, что тонкие ZnO:Al пленки имеют пики от плоскостей (100), (002), (110) и (201) гексагональной фазы ZnO. Плоскости (101) и (102) были обнаружены также с помощью электронной дифракции. Тонкие ZnO:Al пленки растут гладкими со среднеквадратичной шероховатостью $R_{q}$ равной 0.33 nm и характерными размерами нанокристаллита $\sim$70 и $\sim$15 nm без дополнительных фаз связанных с алюминием или оксидами алюминия. Пропускание на длине волны 550 nm с учетом подложки составляло $\sim$96%. Были найдены коэффициенты преломления и поглощения тонких ZnO:Al пленок в диапазоне длин волн 250–900 nm. Максимальные значения для коэффициентов преломления и поглощения были 2.09 на длине волны 335 nm и 0.39 на длине волны 295 nm соответственно. Оптическая ширина запрещeнной зоны составляла 3.56 eV. Удельное сопротивление, коэффициент Зеебека и фактор мощности тонких ZnO:Al пленок составляли $\sim$1.02 $\cdot$ 10$^{-3}$ Ohm $\cdot$ cm, $\sim$-60$\mu$V/K и 340 $\mu$W $\cdot$ m$^{-1}$ $\cdot$ K$^{-2}$ при комнатной температуре соответственно. Максимальный фактор мощности достигал 620 $\mu$ $\cdot$ m$^{-1}$ $\cdot$ K$^{-2}$ при температуре 200$^\circ$C.
Ключевые слова:
атомно-слоевое осаждение, тонкие пленки, легированный алюминием оксид цинка, структурные и оптические свойства, термоэлектрические свойства.
Поступила в редакцию: 15.04.2019 Исправленный вариант: 15.04.2019 Принята в печать: 17.04.2019
Образец цитирования:
И. А. Тамбасов, М. Н. Волочаев, А. С. Воронин, Н. П. Евсевская, А. Н. Масюгин, А. С. Александровский, Т. Е. Смолярова, И. В. Немцев, С. А. Лященко, Г. Н. Бондаренко, Е. В. Тамбасова, “Структурные, оптические и термоэлектрические свойства тонких ZnO:Al пленок, полученных атомно-слоевым осаждением”, Физика твердого тела, 61:10 (2019), 1941–1947; Phys. Solid State, 61:10 (2019), 1904–1909
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ftt8680 https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v61/i10/p1941
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 41 | PDF полного текста: | 16 |
|