Физика твердого тела
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Физика твердого тела:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Физика твердого тела, 2019, том 61, выпуск 11, страницы 2244–2248
DOI: https://doi.org/10.21883/FTT.2019.11.48436.435 (Mi ftt8644) 		 
Эта публикация цитируется в 7 научных статьях (всего в 7 статьях)

Физика поверхности, тонкие пленки

Влияние энергии ионной стимуляции на удельное электросопротивление углеродных пленок, полученных методом импульсно-плазменного осаждения в атмосфере азота

И. А. Завидовский, О. А. Стрелецкий, О. Ю. Нищак, А. А. Хайдаров

Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова
PDF полного текста (613 kB) Список цитирования (7)
DOI: https://doi.org/10.21883/FTT.2019.11.48436.435
Аннотация: Исследованы тонкие углеродные пленки, полученные методом импульсно-плазменного ионно-стимулированного распыления графита в атмосфере смеси аргона и азота. Результаты спектроскопии характеристических потерь энергии электронов и электронной дифракции свидетельствуют о росте графитовой составляющей при увеличении энергии ионной стимуляции. Применение ионной стимуляции в процессе напыления пленок позволяет управлять их удельным сопротивлением, изменяя его от 10$^{5}$ до 10$^{2}$ $\Omega$ $\cdot$ cm.
Ключевые слова: ионно-плазменное осаждение, тонкие пленки, аморфный углерод, просвечивающая электронная микроскопия, спектроскопия характеристических потерь энергии электронов, удельное сопротивление.
Поступила в редакцию: 26.03.2019
Исправленный вариант: 02.07.2019
Принята в печать: 02.07.2019
Англоязычная версия:
Physics of the Solid State, 2019, Volume 61, Issue 11, Pages 2228–2232
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063783419110428
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: И. А. Завидовский, О. А. Стрелецкий, О. Ю. Нищак, А. А. Хайдаров, “Влияние энергии ионной стимуляции на удельное электросопротивление углеродных пленок, полученных методом импульсно-плазменного осаждения в атмосфере азота”, Физика твердого тела, 61:11 (2019), 2244–2248; Phys. Solid State, 61:11 (2019), 2228–2232
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{ZavStrNis19}
\by И.~А.~Завидовский, О.~А.~Стрелецкий, О.~Ю.~Нищак, А.~А.~Хайдаров
\paper Влияние энергии ионной стимуляции на удельное электросопротивление углеродных пленок, полученных методом импульсно-плазменного осаждения в атмосфере азота
\jour Физика твердого тела
\yr 2019
\vol 61
\issue 11
\pages 2244--2248
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/ftt8644}
\crossref{https://doi.org/10.21883/FTT.2019.11.48436.435}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=41300801}
\transl
\jour Phys. Solid State
\yr 2019
\vol 61
\issue 11
\pages 2228--2232
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063783419110428}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt8644
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v61/i11/p2244
    • Эта публикация цитируется в следующих 7 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Физика твердого тела Физика твердого тела
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:43
    PDF полного текста:16
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024