Физика твердого тела
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Физика твердого тела:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Физика твердого тела, 2019, том 61, выпуск 12, страницы 2454–2460
DOI: https://doi.org/10.21883/FTT.2019.12.48608.47ks (Mi ftt8593) 		 
Международная конференция ''Механизмы и нелинейные проблемы нуклеации, роста кристаллов и тонких пленок'' , посвященная памяти выдающегося физика-теоретика профессора В. В. Слезова (Сборник трудов) Санкт-Петербург, 1-5 июля 2019 г.
Физика поверхности, тонкие пленки

Ионно-пучковые и рентгеновские методы элементной диагностики тонкопленочных покрытий

В. К. Егоровa, Е. В. Егоровabc, М. С. Афанасьевc

a Институт проблем технологии микроэлектроники РАН, Черноголовка, Россия
b Финансовый университет при Правительстве Российской Федерации, г. Москва
c Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН
PDF полного текста (638 kB)
DOI: https://doi.org/10.21883/FTT.2019.12.48608.47ks
Аннотация: Показано, как совместное использование методов резерфордовского обратного рассеяния ионов, рентгенофлуоресцентного анализа в условиях полного внешнего отражении потока возбуждающего жесткого рентгеновского излучения и регистрации выхода рентгеновского излучения при ионном возбуждении позволяет эффективно диагностировать элементный состав тонкопленочных покрытий и пленок сухих остатков жидкостей. Представлена краткая характеристика этих методов и особенностей их экспериментального применения. Приведены примеры комплексного методического анализа реальных объектов. Указано на возможность повышения эффективности методов рентгенофлуоресцентного анализа материалов за счет включения в рентгенооптические схемы экспериментальных измерений плоских рентгеновских волноводов-резонаторов.
Ключевые слова: резерфордовское обратное рассеяние, рентгенофлуоресцентная диагностика, рентгенофлуоресцентный анализ, тонкопленочные покрытия, пленки сухих остатков жидкостей.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство образования и науки Российской Федерации 075-00475-19-00
Российский фонд фундаментальных исследований 19-07-00271
18-029-11029
Работа выполнена в рамках Государственного задания № 075-00475-19-00 при частичной финансовой поддержке грантов РФФИ № 19-07-00271 и № 18-029-11029.
Поступила в редакцию: 16.07.2019
Исправленный вариант: 16.07.2019
Принята в печать: 25.07.2019
Англоязычная версия:
Physics of the Solid State, 2019, Volume 61, Issue 12, Pages 2480–2486
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063783419120114
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: В. К. Егоров, Е. В. Егоров, М. С. Афанасьев, “Ионно-пучковые и рентгеновские методы элементной диагностики тонкопленочных покрытий”, Физика твердого тела, 61:12 (2019), 2454–2460; Phys. Solid State, 61:12 (2019), 2480–2486
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{EgoEgoAfa19}
\by В.~К.~Егоров, Е.~В.~Егоров, М.~С.~Афанасьев
\paper Ионно-пучковые и рентгеновские методы элементной диагностики тонкопленочных покрытий
\jour Физика твердого тела
\yr 2019
\vol 61
\issue 12
\pages 2454--2460
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/ftt8593}
\crossref{https://doi.org/10.21883/FTT.2019.12.48608.47ks}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=42571154}
\transl
\jour Phys. Solid State
\yr 2019
\vol 61
\issue 12
\pages 2480--2486
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063783419120114}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt8593
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v61/i12/p2454
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Физика твердого тела Физика твердого тела
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:40
    PDF полного текста:12
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024