|
Международная конференция ''Механизмы и нелинейные проблемы нуклеации, роста кристаллов и тонких пленок'' , посвященная памяти выдающегося физика-теоретика профессора В. В. Слезова (Сборник трудов) Санкт-Петербург, 1-5 июля 2019 г.
Фазовые переходы
Феноменологические модели зарождения и роста металла на полупроводнике
Н. И. Плюснин Институт автоматики и процессов управления ДВО РАН, г. Владивосток
Аннотация:
На основе экспериментальных данных, полученных в одинаковых экспериментальных условиях с использованием метода осаждения из горячей стенки, обнаружены и выделены четыре режима роста металла на полупроводниковой подложке. Данные режимы реализуются при определенных соотношениях между поступательной кинетической энергией пара, осаждаемого на подложку, и его температурой. Предложен механизм адаптации к подложке нанофазного смачивающего покрытия металла, когда реализуется режим роста чистого металла, и структурная модель этого покрытия.
Ключевые слова:
смачивание, рост, взаимодействие пара с подложкой, система металл–полупроводник, электронная и оптическая спектроскопия.
Поступила в редакцию: 16.07.2019 Исправленный вариант: 16.07.2019 Принята в печать: 25.07.2019
Образец цитирования:
Н. И. Плюснин, “Феноменологические модели зарождения и роста металла на полупроводнике”, Физика твердого тела, 61:12 (2019), 2421–2424; Phys. Solid State, 61:12 (2019), 2431–2433
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ftt8582 https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v61/i12/p2421
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 35 | PDF полного текста: | 9 |
|