Физика твердого тела
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Физика твердого тела:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Физика твердого тела, 2019, том 61, выпуск 12, страницы 2379–2384
DOI: https://doi.org/10.21883/FTT.2019.12.48558.22ks (Mi ftt8572) 		 
Эта публикация цитируется в 8 научных статьях (всего в 8 статьях)

Международная конференция ''Механизмы и нелинейные проблемы нуклеации, роста кристаллов и тонких пленок'' , посвященная памяти выдающегося физика-теоретика профессора В. В. Слезова (Сборник трудов) Санкт-Петербург, 1-5 июля 2019 г.
Сегнетоэлектричество

Влияние ориентации кремниевой подложки с буферным подслоем карбида кремния на диэлектрические и полярные свойства пленок нитрида алюминия

О. Н. Сергееваab, А. В. Солнышкинab, Д. А. Киселевbc, Т. С. Ильинаc, С. А. Кукушкинbd, Ш. Ш. Шарофидиновbe, Е. Ю. Каптеловbe, И. П. Пронинbe

a Тверской государственный университет
b Российский государственный педагогический университет им. А. И. Герцена, г. Санкт-Петербург
c Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", г. Москва
d Институт проблем машиноведения РАН, г. Санкт-Петербург
e Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
PDF полного текста (451 kB) Список цитирования (8)
DOI: https://doi.org/10.21883/FTT.2019.12.48558.22ks
Аннотация: Исследуются диэлектрические и полярные свойства тонких пленок нитрида алюминия (AlN), эпитаксиально выращенных на различно ориентированных кремниевых подложках $p$-типа проводимости с буферным подслоем карбида кремния (SiC), а также на вицинальных плоскостях. По результатам исследований полярных свойств двумя независимыми методами – динамического пироэффекта и силовой микроскопии пьезоотклика, показано, что использование буферного слоя SiC существенно улучшает полярные свойства тонких слоев нитрида алюминия.
Ключевые слова: подложки кремния с различной ориентацией, вицинальные поверхности, буферный слой карбида кремния, тонкие слои нитрида алюминия, пироэлектрический эффект, пьезоэлектрический эффект.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство образования и науки Российской Федерации 16.2811.2017/4.6
11.9706.2017/7.8
Работа выполнена при частичной поддержке в рамках проектной части гос. задания, проект № 16.2811.2017/4.6. Исследования методами сканирующей зондовой микроскопии выполнены при финансовой поддержке Министерства науки и высшего образования РФ на оборудовании ЦКП “Материаловедение и металлургия” НИТУ “МИСиС” (проект № 11.9706.2017/7.8).
Поступила в редакцию: 16.07.2019
Исправленный вариант: 16.07.2019
Принята в печать: 25.07.2019
Англоязычная версия:
Physics of the Solid State, 2019, Volume 61, Issue 12, Pages 2386–2391
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063783419120485
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: О. Н. Сергеева, А. В. Солнышкин, Д. А. Киселев, Т. С. Ильина, С. А. Кукушкин, Ш. Ш. Шарофидинов, Е. Ю. Каптелов, И. П. Пронин, “Влияние ориентации кремниевой подложки с буферным подслоем карбида кремния на диэлектрические и полярные свойства пленок нитрида алюминия”, Физика твердого тела, 61:12 (2019), 2379–2384; Phys. Solid State, 61:12 (2019), 2386–2391
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{SerSolKis19}
\by О.~Н.~Сергеева, А.~В.~Солнышкин, Д.~А.~Киселев, Т.~С.~Ильина, С.~А.~Кукушкин, Ш.~Ш.~Шарофидинов, Е.~Ю.~Каптелов, И.~П.~Пронин
\paper Влияние ориентации кремниевой подложки с буферным подслоем карбида кремния на диэлектрические и полярные свойства пленок нитрида алюминия
\jour Физика твердого тела
\yr 2019
\vol 61
\issue 12
\pages 2379--2384
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/ftt8572}
\crossref{https://doi.org/10.21883/FTT.2019.12.48558.22ks}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=42571133}
\transl
\jour Phys. Solid State
\yr 2019
\vol 61
\issue 12
\pages 2386--2391
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063783419120485}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt8572
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v61/i12/p2379
    • Эта публикация цитируется в следующих 8 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Физика твердого тела Физика твердого тела
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:79
    PDF полного текста:31
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025