|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Международная конференция ''Механизмы и нелинейные проблемы нуклеации, роста кристаллов и тонких пленок'' , посвященная памяти выдающегося физика-теоретика профессора В. В. Слезова (Сборник трудов) Санкт-Петербург, 1-5 июля 2019 г.
Диэлектрики
Effective charge in LiNbO$_{3}$ films fabricated by radio-frequency magnetron sputtering method
M. Sumetsa, E. Belonogovb, V. Dybovb, D. Serikovb, A. Kostyuchenkob, V. Ievlevac, G. Kotovd a Voronezh State University, Voronezh, Russia
b Voronezh State Technical University, Voronezh, Russia
c Lomonosov Moscow State University, Moscow, Russia
d Voronezh State University of Engineering Technologies, Voronezh, Russia
Аннотация:
Amorphous Li–Nb–O films were deposited onto Si substrates by radio-frequency magnetron sputtering method. The fabricated heterostructures demonstrated the presence of effective oxide charge $Q_{\operatorname{eff}}$ having both negative and positive components. Thermal annealing (TA) of as-grown heterostructures leads to the crystallization of a Li–Nb–O system with the formation of LiNbO$_{3}$ films. The $Q_{\operatorname{eff}}$ changes with TA, reaching a minimum at the annealing temperature of about 470$^\circ$C, corresponding to the entire film's crystallization.
Ключевые слова:
lithium niobate, LiNbO$_3$, sputtering, thin films, crystallization, oxide charge.
Поступила в редакцию: 16.07.2019 Исправленный вариант: 16.07.2019 Принята в печать: 25.07.2019
Образец цитирования:
M. Sumets, E. Belonogov, V. Dybov, D. Serikov, A. Kostyuchenko, V. Ievlev, G. Kotov, “Effective charge in LiNbO$_{3}$ films fabricated by radio-frequency magnetron sputtering method”, Физика твердого тела, 61:12 (2019), 2363; Phys. Solid State, 61:12 (2019), 2367–2370
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ftt8568 https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v61/i12/p2363
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 61 | PDF полного текста: | 11 |
|