Физика твердого тела
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Физика твердого тела:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Физика твердого тела, 2019, том 61, выпуск 12, страница 2363 (Mi ftt8568)  

Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Международная конференция ''Механизмы и нелинейные проблемы нуклеации, роста кристаллов и тонких пленок'' , посвященная памяти выдающегося физика-теоретика профессора В. В. Слезова (Сборник трудов) Санкт-Петербург, 1-5 июля 2019 г.
Диэлектрики

Effective charge in LiNbO$_{3}$ films fabricated by radio-frequency magnetron sputtering method

M. Sumetsa, E. Belonogovb, V. Dybovb, D. Serikovb, A. Kostyuchenkob, V. Ievlevac, G. Kotovd

a Voronezh State University, Voronezh, Russia
b Voronezh State Technical University, Voronezh, Russia
c Lomonosov Moscow State University, Moscow, Russia
d Voronezh State University of Engineering Technologies, Voronezh, Russia
Аннотация: Amorphous Li–Nb–O films were deposited onto Si substrates by radio-frequency magnetron sputtering method. The fabricated heterostructures demonstrated the presence of effective oxide charge $Q_{\operatorname{eff}}$ having both negative and positive components. Thermal annealing (TA) of as-grown heterostructures leads to the crystallization of a Li–Nb–O system with the formation of LiNbO$_{3}$ films. The $Q_{\operatorname{eff}}$ changes with TA, reaching a minimum at the annealing temperature of about 470$^\circ$C, corresponding to the entire film's crystallization.
Ключевые слова: lithium niobate, LiNbO$_3$, sputtering, thin films, crystallization, oxide charge.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский фонд фундаментальных исследований 18-29-11062
This work is supported by the Russian Foundation for Basic Research (grant no. 18-29-11062 “Synthesis of lithium niobate films for an elemental basis of opto- acousto-and microelectronics devices”).
Поступила в редакцию: 16.07.2019
Исправленный вариант: 16.07.2019
Принята в печать: 25.07.2019
Англоязычная версия:
Physics of the Solid State, 2019, Volume 61, Issue 12, Pages 2367–2370
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063783419120552
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Язык публикации: английский
Образец цитирования: M. Sumets, E. Belonogov, V. Dybov, D. Serikov, A. Kostyuchenko, V. Ievlev, G. Kotov, “Effective charge in LiNbO$_{3}$ films fabricated by radio-frequency magnetron sputtering method”, Физика твердого тела, 61:12 (2019), 2363; Phys. Solid State, 61:12 (2019), 2367–2370
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{SumBelDyb19}
\by M.~Sumets, E.~Belonogov, V.~Dybov, D.~Serikov, A.~Kostyuchenko, V.~Ievlev, G.~Kotov
\paper Effective charge in LiNbO$_{3}$ films fabricated by radio-frequency magnetron sputtering method
\jour Физика твердого тела
\yr 2019
\vol 61
\issue 12
\pages 2363
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/ftt8568}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=42571129}
\transl
\jour Phys. Solid State
\yr 2019
\vol 61
\issue 12
\pages 2367--2370
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063783419120552}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt8568
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v61/i12/p2363
  • Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Физика твердого тела Физика твердого тела
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:74
    PDF полного текста:14
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024