Физика твердого тела
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Физика твердого тела:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Физика твердого тела, 2019, том 61, выпуск 12, страницы 2308–2311
DOI: https://doi.org/10.21883/FTT.2019.12.48540.23ks (Mi ftt8553) 		 
Международная конференция ''Механизмы и нелинейные проблемы нуклеации, роста кристаллов и тонких пленок'' , посвященная памяти выдающегося физика-теоретика профессора В. В. Слезова (Сборник трудов) Санкт-Петербург, 1-5 июля 2019 г.
Полупроводники

Зависимость свойств вариативных градиентно-пористых структур кремния от метода формирования

К. И. Рубцова, М. Д. Силина

Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", г. Москва
PDF полного текста (485 kB)
DOI: https://doi.org/10.21883/FTT.2019.12.48540.23ks
Аннотация: Получена серия образцов градиентно-пористых структур кремния с кристаллографическими ориентациями (100) и (111) методом глубокого анодного травления. Показаны зависимости скорости глубокого анодного травления и глубины пористого слоя образцов от плотности анодного тока. Исследованы коэффициенты поглощения и отражения образцов методом оптической спектрометрии в зависимости от их кристаллографической ориентации и глубины пористого слоя. Определено влияние водных растворов на оптические свойства образцов.
Ключевые слова: пористый кремний, ГПК-Var, анодное травление, коэффициент отражения.
Поступила в редакцию: 16.07.2019
Исправленный вариант: 16.07.2019
Принята в печать: 25.07.2019
Англоязычная версия:
Physics of the Solid State, 2019, Volume 61, Issue 12, Pages 2302–2305
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063783419120461
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: К. И. Рубцова, М. Д. Силина, “Зависимость свойств вариативных градиентно-пористых структур кремния от метода формирования”, Физика твердого тела, 61:12 (2019), 2308–2311; Phys. Solid State, 61:12 (2019), 2302–2305
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{RubSil19}
\by К.~И.~Рубцова, М.~Д.~Силина
\paper Зависимость свойств вариативных градиентно-пористых структур кремния от метода формирования
\jour Физика твердого тела
\yr 2019
\vol 61
\issue 12
\pages 2308--2311
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/ftt8553}
\crossref{https://doi.org/10.21883/FTT.2019.12.48540.23ks}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=42571113}
\transl
\jour Phys. Solid State
\yr 2019
\vol 61
\issue 12
\pages 2302--2305
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063783419120461}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt8553
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v61/i12/p2308
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Физика твердого тела Физика твердого тела
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:46
    PDF полного текста:14
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024