|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Международная конференция ''Механизмы и нелинейные проблемы нуклеации, роста кристаллов и тонких пленок'' , посвященная памяти выдающегося физика-теоретика профессора В. В. Слезова (Сборник трудов) Санкт-Петербург, 1-5 июля 2019 г.
Полупроводники
Выращивание объёмных кристаллов AlN и GaN сублимационным сандвич-методом
Е. Н. Мохов, А. А. Вольфсон, О. П. Казарова Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
Аннотация:
Приведен обзор результатов роста объемных кристаллов нитридов Al и Ga на инородных затравках сублимационным сандвич-методом. Анализируется кинетика и механизм сублимации и конденсации в зависимости от условий роста, состава паровой фазы, ориентации кристалла и расстояния между источником и затравкой. Экспериментально установлено, что при совместном отжиге AlN с SiC скорость сублимации AlN существенно возрастает за счет образования жидкой фазы на поверхности кристалла. Неоднородное распределение жидкой фазы, локализованной преимущественно вблизи структурных и морфологических дефектов, приводит к селективному характеру травления поверхности и является причиной ухудшения качества растущего кристалла. Реализован процесс роста объемных кристаллов AlN с одновременным испарением затравки, позволяющий получить кристаллы без трещин и с улучшенными параметрами. На затравках SiC выращены объемные кристаллы AlN и GaN до 2 дюймов в диаметре.
Ключевые слова:
AlN, GaN, сублимационный рост, сандвич-метод.
Поступила в редакцию: 16.07.2019 Исправленный вариант: 16.07.2019 Принята в печать: 25.07.2019
Образец цитирования:
Е. Н. Мохов, А. А. Вольфсон, О. П. Казарова, “Выращивание объёмных кристаллов AlN и GaN сублимационным сандвич-методом”, Физика твердого тела, 61:12 (2019), 2298–2302; Phys. Solid State, 61:12 (2019), 2286–2290
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ftt8550 https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v61/i12/p2298
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 51 | PDF полного текста: | 17 |
|