|
Системы низкой размерности
Вариация состояния поверхности в ходе сканирования в низковольтном РЭМ и ее влияние на размеры рельефной структуры
Ю. В. Ларионов, Ю. В. Озерин Институт общей физики им. А.М. Прохорова Российской академии наук, г. Москва
Аннотация:
Оценена вариация эмиссии медленных вторичных электронов из поверхности рельефных структур (выступов) в ходе длительного их сканирования в низковольтном растровом электронном микроскопе. Характер вариации зависит от участка профиля выступа, он особенно сложен вблизи углов рельефных структур. В результате искажаются соответствующие участки кривой видеосигнала от выступа, что приводит к увеличению или даже к уменьшению геометрических размеров этих участков. Вариация эмиссии объяснена наведением локальных зарядов в слое естественного окисла на поверхности кремния. Размер участков изменяется также из-за осаждения на поверхности выступа контаминационной пленки. Предположительно, ее осаждение зависит от наведенных зарядов на поверхности выступа и поэтому плохо воспроизводимо. Зафиксирован случай отсутствия контаминационного уширения выступа в результате длительного его сканирования.
Ключевые слова:
нанометрология, низковольтный растровый электронный микроскоп (РЭМ), рельефная структура, поверхностные зарядовые состояния, контаминация.
Поступила в редакцию: 16.10.2019 Исправленный вариант: 21.01.2020 Принята в печать: 21.01.2020
Образец цитирования:
Ю. В. Ларионов, Ю. В. Озерин, “Вариация состояния поверхности в ходе сканирования в низковольтном РЭМ и ее влияние на размеры рельефной структуры”, Физика твердого тела, 62:6 (2020), 947–954; Phys. Solid State, 62:6 (2020), 1078–1084
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ftt8410 https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v62/i6/p947
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 37 | PDF полного текста: | 5 |
|