Выявление и исследование микродефектов в кремнии методами рентгеновской топографии

Обсуждаются результаты использования методов плосковолновой и секционной рентгеновской топографии для неразрушающего выявления и исследования ростовых недекорированных микродефектов (кластеров) в бездислокационном кремнии, полученном методом бестигельной зонной плавки. Показано, что оба метода сравнимы по чувствительности, выявляют микродефекты во всем просвечиваемом объеме и позволяют определить глубину залегания дефекта. Дана классификация дефектов по типам их плосковолновых изображений. Исследованы динамические особенности плосковолнового контраста микродефектов при отклонении от условия Брэгга. Информация, получаемая из анализа структуры изображения микродефектов, может быть использована для ЭВМ моделирования их рентгенодифракционных изображений с целью уточнения размеров и природы микродефектов.