Loading [MathJax]/jax/output/SVG/config.js
Физика твердого тела
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Физика твердого тела:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Физика твердого тела, 2020, том 62, выпуск 10, страницы 1612–1617
DOI: https://doi.org/10.21883/FTT.2020.10.49905.116 (Mi ftt8281) 		 
Эта публикация цитируется в 7 научных статьях (всего в 7 статьях)

Полупроводники

Управление свойствами алмазоподобных кремнийуглеродных пленок

А. И. Поповab, А. Д. Бариновab, В. М. Емецa, Т. С. Чукановаa, М. Л. Шупегинa

a Национальный исследовательский университет «Московский энергетический институт»
b Институт нанотехнологий микроэлектроники РАН, Москва, Россия
PDF полного текста (242 kB) Список цитирования (7)
DOI: https://doi.org/10.21883/FTT.2020.10.49905.116
Аннотация: Рассмотрены возможности управления электрофизическими и механическими свойствами аморфных алмазоподобных кремнийуглеродных пленок методами структурной, химической и структурно-химической модификации. В качестве факторов структурной модификации использовались величина напряжения смещения и его частота в процессе синтеза пленок, давление аргона в рабочей камере, а также прекурсоры с различной молекулярной структурой. Для химической и структурно-химической модификации осуществлялось введение в пленку переходных металлов с концентрацией до 30–35 аt.%. Показана высокая эффективность управления физическими свойствами пленок рассматриваемыми методами.
Ключевые слова: кремнийуглеродные пленки, полифенилметилсилоксан, полиметилсилоксан, структурная, химическая и структурно-химическая модификация, нанокомпозиты, электропроводность, нанотвердость.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский фонд фундаментальных исследований 19-07-00021
Работа выполнена при финансовой поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (грант № 19-07-00021).
Поступила в редакцию: 28.05.2020
Исправленный вариант: 28.05.2020
Принята в печать: 04.06.2020
Англоязычная версия:
Physics of the Solid State, 2020, Volume 62, Issue 10, Pages 1780–1786
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063783420100261
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: А. И. Попов, А. Д. Баринов, В. М. Емец, Т. С. Чуканова, М. Л. Шупегин, “Управление свойствами алмазоподобных кремнийуглеродных пленок”, Физика твердого тела, 62:10 (2020), 1612–1617; Phys. Solid State, 62:10 (2020), 1780–1786
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{PopBarYem20}
\by А.~И.~Попов, А.~Д.~Баринов, В.~М.~Емец, Т.~С.~Чуканова, М.~Л.~Шупегин
\paper Управление свойствами алмазоподобных кремнийуглеродных пленок
\jour Физика твердого тела
\yr 2020
\vol 62
\issue 10
\pages 1612--1617
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/ftt8281}
\crossref{https://doi.org/10.21883/FTT.2020.10.49905.116}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=44041037}
\transl
\jour Phys. Solid State
\yr 2020
\vol 62
\issue 10
\pages 1780--1786
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063783420100261}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt8281
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v62/i10/p1612
    • Эта публикация цитируется в следующих 7 статьяx:
    1. A. I. Popov, A. D. Barinov, V. M. Yemets, D. A. Zezin, T. S. Chukanova, V. P. Afanas'ev, M. A. Semenov-Shefov, V. A. Terekhov, E. P. Domashevskaya, M. Yu. Presnyakov, M. A. Shapetina, “Influence of Aluminium on the Structure and Electrical Properties of Amorphous Diamond-Like Silicon-Carbon Films”, Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 2023, № 11, 24  crossref
    2. A. I. Popov, A. D. Barinov, V. M. Yemets, M. Yu. Presnyakov, T. S. Chukanova, “Field Frequency Variation during Plasma-Chemical Deposition of Silicon-Carbon Films as a Method for Their Structural Modification”, Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 2023, № 10, 22  crossref
    3. A. I. Popov, A. D. Barinov, V. M. Yemets, D. A. Zezin, T. S. Chukanova, V. P. Afanas'ev, M. A. Semenov-Shefov, V. A. Terekhov, E. P. Domashevskaya, M. Yu. Presnyakov, M. A. Shapetina, “Effect of Aluminum on the Structure and Electrical Properties of Amorphous Diamond-Like Silicon-Carbon Films”, J. Surf. Investig., 17:6 (2023), 1199  crossref
    4. Tatiana Chukanova, Alexei Barinov, Vladimir Yemets, Denis Zezin, Anatoly Popov, 2023 5th International Youth Conference on Radio Electronics, Electrical and Power Engineering (REEPE), 2023, 1  crossref
    5. A. I. Popov, A. D. Barinov, V. M. Yemets, M. Yu. Presnyakov, T. S. Chukanova, “Field-Frequency Variation during Plasma-Chemical Deposition of Silicon–Carbon Films as a Method for Their Structural Modification”, J. Surf. Investig., 17:5 (2023), 1060  crossref
    6. V. K. Dmitriev, E. A. Il'ichev, G. G. Kirpilenko, G. N. Petrukhin, G. S. Rychkov, V. D. Frolov, “Characteristics and Areas of Possible Application of Amorphous Silicon–Carbon and Metal–Silicon–Carbon Films. Review”, Semiconductors, 57:1 (2023), 11  crossref
    7. A. I. Popov, A. D. Barinov, V. M. Emets, R. A. Kastro Arta, A. V. Kolobov, A. A. Kononov, A. V. Ovcharov, T. S. Chukanova, “The Effect of Transition Metals on the Dielectric Properties of Diamond-Like Silicon–Carbon Films”, Phys. Solid State, 64:2 (2022), 85  crossref
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Физика твердого тела Физика твердого тела
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:75
    PDF полного текста:39
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025