|
Полупроводники
Тензостимулированный эффект в легированном и термообработанном кремнии при ориентированной деформации
О. О. Маматкаримовa, О. Химматкуловb, И. Г. Турсуновcd a Наманганский инженерно-технологический институт, Наманган, Узбекистан
b Ташкентский государственный технический университет, Ташкент, Узбекистан
c Чирчикский государственный педагогический институт, Чирчик, Узбекистан
d Национальный университет Узбекистана, Ташкент, Узбекистан
Аннотация:
Исследован тензостимулированный эффект в термообработанном и легированном кремнии. Показано, что одноосное сжатие по направлению [111] приводит к распаду термодоноров и проявлению гистерезиса в зависимостях удельного сопротивления от величины сжатия. Установлено, что тензостимулированный эффект в компенсированных марганцем образцах кремния обусловлен одновременными изменениями концентрации и подвижности носителей тока.
Ключевые слова:
деформация, тензосопротивления, кремний, легирование, одноосное.
Поступила в редакцию: 17.12.2020 Исправленный вариант: 17.12.2020 Принята в печать: 14.01.2021
Образец цитирования:
О. О. Маматкаримов, О. Химматкулов, И. Г. Турсунов, “Тензостимулированный эффект в легированном и термообработанном кремнии при ориентированной деформации”, Физика твердого тела, 63:5 (2021), 602–605; Phys. Solid State, 63:5 (2021), 738–741
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ftt8127 https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v63/i5/p602
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 51 | PDF полного текста: | 32 |
|