|
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)
Механические свойства, физика прочности и пластичность
Релаксация напряжений несоответствия в гетероструктурах $\alpha$-Ga$_{2}$O$_{3}$/$\alpha$-Al$_{2}$O$_{3}$ при образовании дислокаций несоответствия
А. М. Смирновa, А. В. Кремлеваa, Ш. Ш. Шарофидиновb, В. Е. Бугровa, А. Е. Романовab a Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики, Санкт-Петербург, Россия
b Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
Аннотация:
Предложена теоретическая модель релаксации напряжений несоответствия в гетероструктурах $\alpha$-Ga$_{2}$O$_{3}$/$\alpha$-Al$_{2}$O$_{3}$ типа пленка/подложка с учетом анизотропии кристаллических решеток материалов гетероструктуры. Рассмотрено зарождение дислокаций несоответствия в результате базисного или призматического скольжения в гетероструктурах $\alpha$-Ga$_{2}$O$_{3}$/$\alpha$-Al$_{2}$O$_{3}$ с различной ориентацией пленки. Получены зависимости критической толщины $h_{c}$ (толщина пленки, выше которой выгодно зарождение дислокаций несоответствия) от угла $\vartheta$ между полярной осью $c$ и нормалью к плоскости роста пленки для гетероструктур $\alpha$-Ga$_{2}$O$_{3}$/$\alpha$-Al$_{2}$O$_{3}$. Показано, что учет упругой константы $C_{14}$ излишен в рассмотренных моделях релаксации в гетероструктурах $\alpha$-Ga$_{2}$O$_{3}$/$\alpha$-Al$_{2}$O$_{3}$.
Ключевые слова:
широкозонные полупроводники, оксид галлия, сапфир, релаксация напряжений несоответствия, дислокации несоответствия.
Поступила в редакцию: 12.02.2021 Исправленный вариант: 12.02.2021 Принята в печать: 12.02.2021
Образец цитирования:
А. М. Смирнов, А. В. Кремлева, Ш. Ш. Шарофидинов, В. Е. Бугров, А. Е. Романов, “Релаксация напряжений несоответствия в гетероструктурах $\alpha$-Ga$_{2}$O$_{3}$/$\alpha$-Al$_{2}$O$_{3}$ при образовании дислокаций несоответствия”, Физика твердого тела, 63:6 (2021), 788–795; Phys. Solid State, 63:6 (2021), 924–931
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ftt8119 https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v63/i6/p788
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 69 | PDF полного текста: | 30 |
|