|
Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)
Диэлектрики
Сравнение характеристик тонких пленок PZT на подложках из сапфира и кремния
Л. А. Делимоваa, Н. В. Зайцеваa, В. В. Ратниковa, В. С. Юферевb, Д. С. Серегинb, К. А. Воротиловb, А. С. Сиговb a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
b МИРЭА — Российский технологический университет, Москва, Россия
Аннотация:
Свойства сегнетоэлектрических золь-гель-пленок PZT, осажденных на подложку из тонкого слоя кремния на сапфире “Si-on-Sapphire”' (SOS) сравниваются с пленками PZT, сформированными на подложке из кремния. Исследованы кристаллическая структура методом рентгеновской дифракции, асимметрия петель гистерезиса, поляризационные зависимости переходного тока, короткозамкнутого фототока и фото-ЭДС холостого хода, а также изгиб подложек. Пленки PZT на SOS текстурированы в единственном направлении (111) и демонстрируют симметричные петли гистерезиса с высоким значением остаточной поляризации. Пленки PZT на Si текстурированы в основном (111) и более слабом (100) направлениях, показывают меньшие значения поляризации и проявляют асимметрию петель гистерезиса, что отражается на величине переходного тока и фототока. Показано, что сапфировая подложка имеет выпуклый изгиб, вызывающий в плоскости пленки напряжение сжатия, ослабляющее влияние рассогласования параметров решеток PZT и Pt. Напротив, подложка Si имеет вогнутый изгиб, вызывающий растяжение пленки. Сделаны оценки деформаций и механических напряжений внутри пленок. Для PZT на Si получена оценка градиента деформации вдоль оси (111), которая позволяет связать асимметрию петель гистерезиса с флексоэлектрической поляризацией, и найдена величина флексоэлектрического коэффициента для золь-гель-PZT, равная 0.0154 $\mu$C/cm. Полученные результаты показывают, что использование сапфировой подложки обеспечивает лучшее качество тонких пленок PZT.
Ключевые слова:
сегнетоэлектрические пленки, PZT, непереключаемая поляризация, петли гистерезиса, вольтамперные характеристики, фототок, механические деформации и напряжения.
Поступила в редакцию: 13.03.2021 Исправленный вариант: 14.03.2021 Принята в печать: 14.03.2021
Образец цитирования:
Л. А. Делимова, Н. В. Зайцева, В. В. Ратников, В. С. Юферев, Д. С. Серегин, К. А. Воротилов, А. С. Сигов, “Сравнение характеристик тонких пленок PZT на подложках из сапфира и кремния”, Физика твердого тела, 63:8 (2021), 1076–1083; Phys. Solid State, 63:8 (2021), 1145–1152
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ftt8066 https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v63/i8/p1076
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 58 | PDF полного текста: | 20 |
|