|
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)
XXV Международный симпозиум Нанофизика и наноэлектроника, Нижний Новгород, 9-12 марта 2021 г.
Сверхпроводимость
Создание тонких пленок NbN при комнатной температуре подложки
Б. А. Гуровичa, Б. В. Гончаровa, К. Е. Приходькоab, Л. В. Кутузовa, Л. В. Столяровa, Е. М. Малиеваa a Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия
b Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", Москва, Россия
Аннотация:
Методом магнетронного распыления изготовлены тонкие пленки NbN. Пленки изготовлены на сапфировых подложках при температурах 20–300$^\circ$C. Температура перехода в сверхпроводящее состояние для различных образцов в зависимости от температуры подложки при напылении составила 8–14 K. Плотность критического тока jc лежит в диапазоне 0.8–8 MA/cm$^{2}$, что позволяет использовать данные пленки для создания многослойных структур, ввиду отсутствия отжигов, которым подвергается каждый нижележащий слой структур при напылении следующего.
Ключевые слова:
Тонкие сверхпроводящие пленки NbN, плотность критического тока перехода тонких пленок NbN, магнетронное распыление.
Поступила в редакцию: 09.04.2021 Исправленный вариант: 09.04.2021 Принята в печать: 19.04.2021
Образец цитирования:
Б. А. Гурович, Б. В. Гончаров, К. Е. Приходько, Л. В. Кутузов, Л. В. Столяров, Е. М. Малиева, “Создание тонких пленок NbN при комнатной температуре подложки”, Физика твердого тела, 63:9 (2021), 1238–1240; Phys. Solid State, 63:9 (2021), 1366–1368
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ftt8022 https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v63/i9/p1238
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 59 | PDF полного текста: | 19 |
|