Физика твердого тела
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Физика твердого тела:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Физика твердого тела, 2021, том 63, выпуск 9, страницы 1238–1240
DOI: https://doi.org/10.21883/FTT.2021.09.51245.35H
(Mi ftt8022)
 

Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)

XXV Международный симпозиум Нанофизика и наноэлектроника, Нижний Новгород, 9-12 марта 2021 г.
Сверхпроводимость

Создание тонких пленок NbN при комнатной температуре подложки

Б. А. Гуровичa, Б. В. Гончаровa, К. Е. Приходькоab, Л. В. Кутузовa, Л. В. Столяровa, Е. М. Малиеваa

a Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия
b Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", Москва, Россия
Аннотация: Методом магнетронного распыления изготовлены тонкие пленки NbN. Пленки изготовлены на сапфировых подложках при температурах 20–300$^\circ$C. Температура перехода в сверхпроводящее состояние для различных образцов в зависимости от температуры подложки при напылении составила 8–14 K. Плотность критического тока jc лежит в диапазоне 0.8–8 MA/cm$^{2}$, что позволяет использовать данные пленки для создания многослойных структур, ввиду отсутствия отжигов, которым подвергается каждый нижележащий слой структур при напылении следующего.
Ключевые слова: Тонкие сверхпроводящие пленки NbN, плотность критического тока перехода тонких пленок NbN, магнетронное распыление.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство образования и науки Российской Федерации
Работа выполнена при поддержке НИЦ “Курчатовский институт” (приказ от 02.07.2020, № 1055).
Поступила в редакцию: 09.04.2021
Исправленный вариант: 09.04.2021
Принята в печать: 19.04.2021
Англоязычная версия:
Physics of the Solid State, 2021, Volume 63, Issue 9, Pages 1366–1368
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063783421090092
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Б. А. Гурович, Б. В. Гончаров, К. Е. Приходько, Л. В. Кутузов, Л. В. Столяров, Е. М. Малиева, “Создание тонких пленок NbN при комнатной температуре подложки”, Физика твердого тела, 63:9 (2021), 1238–1240; Phys. Solid State, 63:9 (2021), 1366–1368
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{GurGonPri21}
\by Б.~А.~Гурович, Б.~В.~Гончаров, К.~Е.~Приходько, Л.~В.~Кутузов, Л.~В.~Столяров, Е.~М.~Малиева
\paper Создание тонких пленок NbN при комнатной температуре подложки
\jour Физика твердого тела
\yr 2021
\vol 63
\issue 9
\pages 1238--1240
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/ftt8022}
\crossref{https://doi.org/10.21883/FTT.2021.09.51245.35H}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=46690883}
\transl
\jour Phys. Solid State
\yr 2021
\vol 63
\issue 9
\pages 1366--1368
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063783421090092}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt8022
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v63/i9/p1238
  • Эта публикация цитируется в следующих 2 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Физика твердого тела Физика твердого тела
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:59
    PDF полного текста:19
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024