|
Продолжение публикации материалов семинара в ФТТ N 12/21
Сегнетоэлектричество
Слабое проявление эффекта поля в структурах металл–диэлектрик–полупроводник с сегнетоэлектрическим изолирующим слоем Ba$_{x}$Sr$_{1-x}$TiO$_{3}$
Д. А. Белорусов, Е. И. Гольдман, Г. В. Чучева Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН, Фрязино, Россия
Аннотация:
Проведены высокочастотные измерения емкости и проводимости объектов Ni-Ba$_{0.8}$Sr$_{0.2}$TiO_3-Pt и Ni-Ba$_{0.8}$Sr$_{0.2}$TiO_3-Si с толщиной сегнетоэлектрика 120 nm в параэлектрической фазе. Показано, что во всем диапазоне внешних напряжений электрическое поле в Si практически не проникает. Подтвержден сделанный ранее вывод о причинах слабого проявления эффекта поля — происходит практически полное экранирование поляризации сегнетоэлектрического слоя зарядами электронных ловушек на контакте Ba$_{0.8}$Sr$_{0.2}$TiO_3-Si. Отмечено, что резкое снижение за счет пассивации активности поверхностных ловушек позволит реализовать транзисторы на базе структур металл-BST-Si с работающим поверхностным каналом неосновных носителей заряда и обеспечит построение высококачественных ячеек энергонезависимой памяти FeRAM.
Ключевые слова:
металл–диэлектрик–полупроводник-структуры, металл–диэлектрик–металл-структуры, сегнетоэлектрические пленки состава Ba0.8Sr0.2TiO3, высокочастотный импеданс.
Поступила в редакцию: 29.06.2021 Исправленный вариант: 29.06.2021 Принята в печать: 03.07.2021
Образец цитирования:
Д. А. Белорусов, Е. И. Гольдман, Г. В. Чучева, “Слабое проявление эффекта поля в структурах металл–диэлектрик–полупроводник с сегнетоэлектрическим изолирующим слоем Ba$_{x}$Sr$_{1-x}$TiO$_{3}$”, Физика твердого тела, 63:11 (2021), 1887–1889
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ftt7963 https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v63/i11/p1887
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 64 | PDF полного текста: | 13 |
|