Физика твердого тела
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Физика твердого тела:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Физика твердого тела, 2021, том 63, выпуск 11, страницы 1844–1851
DOI: https://doi.org/10.21883/FTT.2021.11.51586.132 (Mi ftt7957) 		 
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)

Продолжение публикации материалов семинара в ФТТ N 12/21
Полупроводники

Влияние переходных металлов на диэлектрические свойства алмазоподобных кремний-углеродных пленок

А. И. Поповab, А. Д. Бариновab, В. М. Емецa, Р. А. Кастро Артаc, А. В. Колобовc, А. А. Кононовc, А. В. Овчаровd, Т. С. Чукановаa

a Национальный исследовательский университет «Московский энергетический институт», Москва, Россия
b Институт нанотехнологий микроэлектроники РАН, Москва, Россия
c Российский государственный педагогический университет им. А. И. Герцена, Санкт-Петербург, Россия
d Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия
PDF полного текста (793 kB) Список цитирования (2)
DOI: https://doi.org/10.21883/FTT.2021.11.51586.132
Аннотация: Проведены исследования влияния переходных металлов на фазовый состав, электрические и диэлектрические свойства алмазоподобных кремний-углеродных пленок, изготовленных плазмохимическим разложением полифенилметилсилоксана. Получены частотные, температурные и концентрационные зависимости указанных свойств. Показано, что с увеличением концентрации металла электропроводность непрерывно возрастает, а концентрационные зависимости диэлектрической проницаемости и тангенса угла диэлектрических потерь имеют минимум при концентрациях металла 0.5–2 аt.%. Анализируются возможные причины этого явления.
Ключевые слова: кремний-углеродные пленки, переходные металлы, структура, электропроводимость, диэлектрическая проницаемость, диэлектрические потери, концентрационные зависимости, поляризация.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский фонд фундаментальных исследований 19-07-00021
Работа выполнена при финансовой поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (грант № 19-07-00021).
Поступила в редакцию: 28.05.2021
Исправленный вариант: 28.05.2021
Принята в печать: 10.06.2021
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: А. И. Попов, А. Д. Баринов, В. М. Емец, Р. А. Кастро Арта, А. В. Колобов, А. А. Кононов, А. В. Овчаров, Т. С. Чуканова, “Влияние переходных металлов на диэлектрические свойства алмазоподобных кремний-углеродных пленок”, Физика твердого тела, 63:11 (2021), 1844–1851
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{PopBarYem21}
\by А.~И.~Попов, А.~Д.~Баринов, В.~М.~Емец, Р.~А.~Кастро Арта, А.~В.~Колобов, А.~А.~Кононов, А.~В.~Овчаров, Т.~С.~Чуканова
\paper Влияние переходных металлов на диэлектрические свойства алмазоподобных кремний-углеродных пленок
\jour Физика твердого тела
\yr 2021
\vol 63
\issue 11
\pages 1844--1851
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/ftt7957}
\crossref{https://doi.org/10.21883/FTT.2021.11.51586.132}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=46636897}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt7957
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v63/i11/p1844
    • Эта публикация цитируется в следующих 2 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Физика твердого тела Физика твердого тела
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:82
    PDF полного текста:33
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024