О механизме электрического пробоя в анодном оксиде тантала

Представлены результаты исследования электрического пробоя анодного оксида тантала в постоянном и импульсном полях. Определены статистические параметры пробоя и их зависимость от длительности импульсов приложенного напряжения. Получены зависимости времени запаздывания пробоя $\tau$ от длительности импульсов в диапазоне $t_{\text{и}}=2\cdot 10^{-5}\div 10^{2}$ с и от скважности импульсов в диапазоне $S=2\div 50$, а также кинетические кривые предпробивных токов при импульсной подаче напряжения. Показано, что время запаздывания пробоя в диапазоне длительностей импульсов $t_{\text{и}}=10^{-3}\div 10^{2}$ с не изменяется и соответствует $\tau$ в постоянном поле (при заданном значении напряжения). Результаты интерпретируются с точки зрения электронных механизмов пробоя.