Механизмы снижения плотности дислокаций в соединениях A$_{3}$B$_{5}$ при проведении диффузии примеси

Показано, что проведение диффузии примеси в соединениях A$_{3}$B$_{5}$ вызывает снижение плотности дислокаций при их переползании. Найдено, при каких плотностях дислокаций реализуются различные механизмы уменьшения их плотности путем аннигиляции или выхода из образца, и получены выражения для эффективности снижения плотности дислокаций в зависимости от концентрации примеси и глубины ее диффузии.