Рентгенодифракционное исследование внутренних напряжений в кристаллах кварца методом наклона

При использовании точного теоретического описания динамической дифракции Лауэ рентгеновских лучей в кристалле с постоянным градиентом деформации решена обратная задача определения локальных значений упругого изгиба и скручивания анизотропных кристаллических пластин по данным измерений интегрального коэффициента отражения $R_{h}(\alpha)$ как функции угла наклона $\alpha$ плоскости дифракционного рассеяния. В качестве примера приводятся результаты исследования локальных деформаций в кварцевых пластинах с нанесенным на обе поверхности слоем Ag толщиной 10 мкм. Показано, что чувствительность метода по измеряемым радиусам изгиба составляет $r \sim10^{3}$ м. Указывается, что учет анизотропии упругих постоянных существенно влияет на величину, а в некоторых случаях и на знак определяемых значений локальной деформации.