|
Физика твердого тела, 1990, том 32, выпуск 12, страницы 3659–3667
(Mi ftt6575)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Коэситная природа стержнеобразных дефектов в выращенном по Чохральскому и отожженном кремнии
К. Л. Малышев, А. Е. Романов, А. А. Ситникова, Л. М. Сорокин Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе АН СССР, г. Ленинград
Аннотация:
Сопоставляются две континуальные модели стержнеобразного дефекта (СД), возникающего в процессе преципитации кислорода при низкотемпературном отжиге ($T=750^{\circ}$С) выращенных по Чохральскому кристаллов кремния. С этой целью сравниваются расчетные и экспериментальные электронно-микроскопические изображения СД. В обеих моделях реализовано предположение о том, что дефект является включением в алмазной решетке коэсита — фазы высокого давления SiO$_{2}$. Основной вывод работы — в состав СД должна входить не только кристаллическая, но и аморфная фаза SiO$_{2}$ — получен при согласовании размеров дефекта (из эксперимента) с теоретической оценкой, которую дает условие стабильности фазы коэсита при фиксированном несоответствии решеток матрицы и включения. Для одной из моделей удается достигнуть удовлетворительного совпадения с экспериментом.
Поступила в редакцию: 07.06.1989
Образец цитирования:
К. Л. Малышев, А. Е. Романов, А. А. Ситникова, Л. М. Сорокин, “Коэситная природа стержнеобразных дефектов в выращенном по Чохральскому и отожженном кремнии”, Физика твердого тела, 32:12 (1990), 3659–3667
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ftt6575 https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v32/i12/p3659
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 34 | PDF полного текста: | 16 |
|