Определение пластической деформации в гетероструктурах по данным рентгеновской дифрактометрии

Показано, что по данным двухкристальной рентгеновской дифрактометрии из измерений компонент тензора кривизны и компонент тензора деформации в плоскости гетерограницы и в направлении, перпендикулярном гетерогранице, можно извлечь информацию о скачках пластической деформации в слоях гетероструктур. На основе этого для двухслойных гетероструктур ряда соединений $\text{A}^{\text{III}}\text{B}^{\text{V}}$ определены плотность дислокаций и толщина области их сосредоточения в подложке.