|
Физика твердого тела, 1983, том 25, выпуск 10, страницы 3132–3137
(Mi ftt4123)
|
|
|
|
Микрокинетика двухкомпонентной диффузии в полупроводниках
В. М. Воробьев, В. А. Муравьев, В. А. Пантелеев Горьковский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
Аннотация:
На основе кинетической теории получены уравнения двухкомпонентной диффузии примесей замещения в полупроводниках. Найдены элементы матрицы коэффициентов диффузии и определена их концентрационная зависимость. Рассмотрены возможные механизмы образования и миграции комплексов из разнородных примесных атомов. Результаты согласуются с экспериментом.
Поступила в редакцию: 09.06.1983
Образец цитирования:
В. М. Воробьев, В. А. Муравьев, В. А. Пантелеев, “Микрокинетика двухкомпонентной диффузии в полупроводниках”, Физика твердого тела, 25:10 (1983), 3132–3137
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ftt4123 https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v25/i10/p3132
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 47 | PDF полного текста: | 18 |
|