Влияние закалки на дислокационные спектры фотолюминесценции в кремнии

Исследовано поведение отдельных линий дислокационной фотолюминесценции (ДФЛ) при закалке образцов. Показано, что высокотемпературная закалка приводит к заметному сужению линий Д1, Д2, что интерпретируется как результат испарения примесей с дислокаций и проявления в спектре ДФЛ чистых дислокационных состояний. В коротковолновой области спектра как деформированных, так и исходных образцов обнаружено появление новой линии с энергией 1.04 эВ, связанной с дефектной структурой, возникающей при закалке.