|
Физика твердого тела, 1985, том 27, выпуск 4, страницы 991–996
(Mi ftt1880)
|
|
|
|
Рентгеновские спектры отражения кристаллического $\alpha$-кварца и аморфных пленок SiO$_{2}$ и SiO$_{x}$
Е. О. Филатова, А. С. Виноградов, Т. М. Зимкина, И. А. Сорокин Ленинградский государственный университет им. А. А. Жданова
Аннотация:
Приводится экспериментальное исследование методом отражения процесса формирования тонкой структуры спектров кислородных соединений кремния. В результате рассмотрения тонкой структуры спектров отражения $\alpha$-кварца, аморфной пленки SiO$_{2}$, системы Si$-$SiO$_{2}$ и аморфной пленки SiO$_{x}$ обнаруживается определяющая роль ближнего порядка в формировании тонкой структуры спектров отражения.
Приводится расчет глубины проникновения излучения в вещество для ${\vartheta=4^{\circ}}$ с использованием экспериментальных спектров отражения $\alpha$-кварца и сравнение рассчитанной величины с ранее полученной экспериментально.
Приводятся оптические постоянные $n$ и $\mu$ для $\alpha$-кварца и аморфной пленки SiO$_{x}$, рассчитанные с использованием экспериментальных спектров отражения.
Поступила в редакцию: 20.07.1984
Образец цитирования:
Е. О. Филатова, А. С. Виноградов, Т. М. Зимкина, И. А. Сорокин, “Рентгеновские спектры отражения кристаллического $\alpha$-кварца и аморфных пленок SiO$_{2}$ и SiO$_{x}$”, Физика твердого тела, 27:4 (1985), 991–996
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ftt1880 https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v27/i4/p991
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 53 | PDF полного текста: | 29 |
|