|
Физика твердого тела, 1985, том 27, выпуск 4, страницы 991–996
(Mi ftt1880)
|
|
|
|
Рентгеновские спектры отражения кристаллического α-кварца и аморфных пленок SiO2 и SiOx
Е. О. Филатова, А. С. Виноградов, Т. М. Зимкина, И. А. Сорокин Ленинградский государственный университет им. А. А. Жданова
Аннотация:
Приводится экспериментальное исследование методом отражения процесса формирования тонкой структуры спектров кислородных соединений кремния. В результате рассмотрения тонкой структуры спектров отражения α-кварца, аморфной пленки SiO2, системы Si−SiO2 и аморфной пленки SiOx обнаруживается определяющая роль ближнего порядка в формировании тонкой структуры спектров отражения.
Приводится расчет глубины проникновения излучения в вещество для ϑ=4∘ с использованием экспериментальных спектров отражения α-кварца и сравнение рассчитанной величины с ранее полученной экспериментально.
Приводятся оптические постоянные n и μ для α-кварца и аморфной пленки SiOx, рассчитанные с использованием экспериментальных спектров отражения.
Поступила в редакцию: 20.07.1984
Образец цитирования:
Е. О. Филатова, А. С. Виноградов, Т. М. Зимкина, И. А. Сорокин, “Рентгеновские спектры отражения кристаллического α-кварца и аморфных пленок SiO2 и SiOx”, Физика твердого тела, 27:4 (1985), 991–996
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ftt1880 https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v27/i4/p991
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 69 | PDF полного текста: | 35 |
|