Влияние частоты поля при плазмохимическом осаждении на структуру и свойства кремний-углеродных покрытий

Проведены исследования электрофизических, механических свойств, морфологии поверхности и структуры кремний-углеродных покрытий, изготовленных плазмохимическим осаждением кремнийорганического прекурсора при разных частотах аксиального электрического поля. Показано, что причиной изменений исследованных характеристик покрытий при вариации частоты поля является изменение соотношения концентраций атомов углерода с различной гибридизацией электронных орбиталей. Зависимости всех исследованных характеристик от частоты поля имеют два различных по характеру участка. При частотах от 0.1 до 1.0 MHz наблюдаются значительные и немонотонные изменения свойств покрытий при изменении частоты электрического поля. При частотах более 1.0 MHz свойства получаемых покрытий практически не зависят от частоты. На базе совместного анализа результатов исследований физических свойств и рамановской спектроскопии предложена модель эволюции структуры покрытий с изменением частоты поля при их осаждении.