Физика твердого тела
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Физика твердого тела:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Физика твердого тела, 2016, том 58, выпуск 2, страницы 350–353 (Mi ftt10088)  
Физика поверхности, тонкие пленки

Морфологическая неустойчивость поверхности кристаллов кремния (100) при СВЧ ионно-физическом травлении

Р. К. Яфаров, В. Я. Шаныгин

Саратовский филиал Института радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН
PDF полного текста (97 kB)
Аннотация: Изложены результаты исследований динамики релаксационной модификации морфологических характеристик атомно-чистых поверхностей кристаллов кремния (100) различных типов проводимости после СВЧ ионно-физического травления в среде аргона. Впервые экспериментально показано и дано физико-химическое обоснование механизма влияния электронных свойств на морфологические характеристики и свободную энергию поверхности кристаллов кремния.
Поступила в редакцию: 02.06.2015
Англоязычная версия:
Physics of the Solid State, 2016, Volume 58, Issue 2, Pages 360–363
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063783416020347
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Р. К. Яфаров, В. Я. Шаныгин, “Морфологическая неустойчивость поверхности кристаллов кремния (100) при СВЧ ионно-физическом травлении”, Физика твердого тела, 58:2 (2016), 350–353; Phys. Solid State, 58:2 (2016), 360–363
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{YafSha16}
\by Р.~К.~Яфаров, В.~Я.~Шаныгин
\paper Морфологическая неустойчивость поверхности кристаллов кремния (100) при СВЧ ионно-физическом травлении
\jour Физика твердого тела
\yr 2016
\vol 58
\issue 2
\pages 350--353
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/ftt10088}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=25668843}
\transl
\jour Phys. Solid State
\yr 2016
\vol 58
\issue 2
\pages 360--363
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063783416020347}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt10088
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v58/i2/p350
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Физика твердого тела Физика твердого тела
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024