|
Физика твердого тела, 2016, том 58, выпуск 4, страницы 725–729
(Mi ftt10019)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 14 научных статьях (всего в 14 статьях)
Фазовые переходы
Фазовое равновесие при образовании карбида кремния за счет топохимического превращения из кремния
С. А. Кукушкинabc, А. В. Осиповac a Институт проблем машиноведения РАН, г. Санкт-Петербург
b Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
c Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики
Аннотация:
Методами линейной алгебры найден базис из независимых химических реакций в системе топохимического превращения кремния в карбид кремния за счет реакции с монооксидом углерода. На основе этого базиса рассчитана фазовая диаграмма давление – поток, описывающая состав твердой фазы для конкретной конструкции вакуумной печи. Показано, что для роста чистого SiC необходимо обеспечивать давление монооксида углерода меньше определенного значения, а его поток – больше определенного значения, зависящих от температуры процесса. При расчете топохимической реакции впервые учтены упругие поля вокруг образующихся вакансий. Показано, что анизотропия этих полей в кубическом кристалле увеличивает константу основной реакции примерно в 4 раза.
Поступила в редакцию: 21.09.2015
Образец цитирования:
С. А. Кукушкин, А. В. Осипов, “Фазовое равновесие при образовании карбида кремния за счет топохимического превращения из кремния”, Физика твердого тела, 58:4 (2016), 725–729; Phys. Solid State, 58:4 (2016), 747–751
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ftt10019 https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v58/i4/p725
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 63 | PDF полного текста: | 18 |
|