|
Доклады Академии наук, 1991, том 318, номер 5, страницы 1154–1158
(Mi dan49176)
|
|
|
|
ФИЗИКА
Точное решение обратной задачи эллипсометрии для поглощающих пленок
С. Н. Свиташева Институт физики полупроводников СО АН СССР, г. Новосибирск
Образец цитирования:
С. Н. Свиташева, “Точное решение обратной задачи эллипсометрии для поглощающих пленок”, Докл. АН СССР, 318:5 (1991), 1154–1158
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/dan49176 https://www.mathnet.ru/rus/dan/v318/i5/p1154
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 93 | PDF полного текста: | 30 | Список литературы: | 1 |
|