Доклады Академии наук
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Докл. РАН:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Доклады Академии наук, 1987, том 294, номер 6, страницы 1358–1362 (Mi dan47985)  
ФИЗИКА

Применение металлорезинатных пленок в электронной и фотолитографии

В. П. Агеев, И. В. Бараненков, К. А. Валиев, Л. В. Великов, В. И. Конов, А. И. Маслаков, В. М. Мельников, A. М. Прохоров

Институт общей физики АН СССР, г. Москва
PDF полного текста (961 kB)
Поступило: 03.03.1987
Тип публикации: Статья
УДК: 621.382
Образец цитирования: В. П. Агеев, И. В. Бараненков, К. А. Валиев, Л. В. Великов, В. И. Конов, А. И. Маслаков, В. М. Мельников, A. М. Прохоров, “Применение металлорезинатных пленок в электронной и фотолитографии”, Докл. АН СССР, 294:6 (1987), 1358–1362
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{AgeBarVal87}
\by В.~П.~Агеев, И.~В.~Бараненков, К.~А.~Валиев, Л.~В.~Великов, В.~И.~Конов, А.~И.~Маслаков, В.~М.~Мельников, A.~М.~Прохоров
\paper Применение металлорезинатных пленок в электронной и фотолитографии
\jour Докл. АН СССР
\yr 1987
\vol 294
\issue 6
\pages 1358--1362
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/dan47985}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/dan47985
  • https://www.mathnet.ru/rus/dan/v294/i6/p1358
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024