Доклады Академии наук
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Докл. РАН:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Доклады Академии наук, 1978, том 240, номер 5, страницы 1108–1110 (Mi dan41792)  
КРИСТАЛЛОГРАФИЯ

Влияние избыточного кремния на образование $\alpha$-$\mathrm{Si}_3\mathrm{N}_4$ при ионной имплантации азота

П. В. Павлов

Горьковский исследовательский физико-технический институт Горьковского государственного университета им. Н. И. Лобачевского
PDF полного текста (437 kB)
Статья представлена к публикации: Н. В. Белов
Поступило: 06.03.1978
Тип публикации: Статья
УДК: 539.1.043+539.213+539.27
Образец цитирования: П. В. Павлов, “Влияние избыточного кремния на образование $\alpha$-$\mathrm{Si}_3\mathrm{N}_4$ при ионной имплантации азота”, Докл. АН СССР, 240:5 (1978), 1108–1110
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{Pav78}
\by П.~В.~Павлов
\paper Влияние избыточного кремния на образование $\alpha$-$\mathrm{Si}_3\mathrm{N}_4$ при ионной имплантации азота
\jour Докл. АН СССР
\yr 1978
\vol 240
\issue 5
\pages 1108--1110
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/dan41792}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/dan41792
  • https://www.mathnet.ru/rus/dan/v240/i5/p1108
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:81
    PDF полного текста:45
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024