Доклады Академии наук
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Докл. РАН:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Доклады Академии наук, 1974, том 215, номер 3, страницы 562–564 (Mi dan38199)  
ФИЗИКА

Масс-спектрометрические исследования условий образования аморфных пленок полупроводников при конденсации из паровой фазы

В. П. Захаров, И. М. Протас

Киевский научно-исследовательский институт микроприборов
PDF полного текста (479 kB)
Статья представлена к публикации: Б. Е. Патон
Поступило: 11.05.1973
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: В. П. Захаров, И. М. Протас, “Масс-спектрометрические исследования условий образования аморфных пленок полупроводников при конденсации из паровой фазы”, Докл. АН СССР, 215:3 (1974), 562–564
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{ZakPro74}
\by В.~П.~Захаров, И.~М.~Протас
\paper Масс-спектрометрические исследования условий образования аморфных пленок полупроводников при конденсации из паровой фазы
\jour Докл. АН СССР
\yr 1974
\vol 215
\issue 3
\pages 562--564
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/dan38199}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/dan38199
  • https://www.mathnet.ru/rus/dan/v215/i3/p562
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024