|
Доклады Академии наук, 1971, том 197, номер 2, страницы 319–322
(Mi dan36055)
|
|
|
|
ФИЗИКА
Влияние каналирования на распределение электрически активных атомов бора и фосфора,
внедренных в монокристаллы кремния
В. М. Гусев, Н. П. Бушаров, К. Д. Демаков, Ю. Г. Козлов Институт атомной энергии им. И. В. Курчатова
Образец цитирования:
В. М. Гусев, Н. П. Бушаров, К. Д. Демаков, Ю. Г. Козлов, “Влияние каналирования на распределение электрически активных атомов бора и фосфора,
внедренных в монокристаллы кремния”, Докл. АН СССР, 197:2 (1971), 319–322
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/dan36055 https://www.mathnet.ru/rus/dan/v197/i2/p319
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 117 | PDF полного текста: | 45 |
|