|
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)
ДИФРАКЦИОННАЯ ОПТИКА, ОПТИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИИ
Моделирование ввода излучения в плоские линейные волноводы с помощью дифракционных решёток для новой технологии изготовления волноводных систем
В. С. Соловьёвa, С. П. Тимошенковa, А. С. Тимошенковa, А. И. Виноградовa, Н. М. Кондратьевb, Н. А. Расщепкинаc a Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия
b Российский квантовый центр «ООО МЦКТ», г. Москва, д. Сколково, Россия
c Самарский государственный технический университет, г. Самара, Россия
Аннотация:
Произведено моделирование и выбор оптимальных параметров дифракционной решётки для новой разработанной технологии изготовления плоских волноводных систем. В отличие от использования готовых пластин «кремний на изоляторе», разработана новая технология изготовления полностью автономной системы ввода излучения, согласующего элемента и собственно волновода. Приведено общее описание технологии системы «ввод излучения – распространение – вывод излучения». Найдены конкретные технологические параметры высоты решётки, подстилающего и покровного слоёв. Эффективность ввода в волновод составила 30 % за счёт подбора оптимального расстояния от волновода до кремниевой подложки, которая работает как зеркальный слой.
Ключевые слова:
линейный волновод, кольцевой резонатор, ввод излучения, волноводная структура, WGM-резонатор, дифракционная решётка.
Поступила в редакцию: 17.03.2020 Принята в печать: 16.10.2020
Образец цитирования:
В. С. Соловьёв, С. П. Тимошенков, А. С. Тимошенков, А. И. Виноградов, Н. М. Кондратьев, Н. А. Расщепкина, “Моделирование ввода излучения в плоские линейные волноводы с помощью дифракционных решёток для новой технологии изготовления волноводных систем”, Компьютерная оптика, 44:6 (2020), 917–922
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/co864 https://www.mathnet.ru/rus/co/v44/i6/p917
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 84 | PDF полного текста: | 50 | Список литературы: | 14 |
|