Компьютерная оптика
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Компьютерная оптика:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Компьютерная оптика, 2019, том 43, выпуск 3, страницы 507–511
DOI: https://doi.org/10.18287/2412-6179-2019-43-3-507-511 (Mi co671) 		 
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

КОРОТКОЕ СООБЩЕНИЕ

Использование атомно-силовой микроскопии для оценки качества очистки и трибометрических свойств поверхности кремниевых пластин

И. Д. Михеев, Ф. Х. Вахитов

Казанский национальный исследовательский технический университет им. А.Н. Туполева – КАИ
PDF полного текста (335 kB) Список цитирования (1)
Список литературы:
PDF
HTML
DOI: https://doi.org/10.18287/2412-6179-2019-43-3-507-511
Аннотация: Экспериментально исследованы различия в величинах адгезионных сил взаимодействия острия зонда атомно-силового микроскопа и очищенных поверхностей кремниевых пластин при их обработке изопропиловым спиртом и дистиллированной водой. Показано, что наличие на поверхности подложек молекул воды приводит к значительному (приблизительно в 5 раз) изменению этих сил. Установлено, что использование атомно-силового микроскопа позволяет оценивать относительную величину сил трения на малых участках поверхностей кремниевых пластин.
Ключевые слова: атомно-силовая микроскопия, кремниевые пластины, трибометрические свойства.
Поступила в редакцию: 18.06.2018
Принята в печать: 09.04.2019
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: И. Д. Михеев, Ф. Х. Вахитов, “Использование атомно-силовой микроскопии для оценки качества очистки и трибометрических свойств поверхности кремниевых пластин”, Компьютерная оптика, 43:3 (2019), 507–511
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{MikVak19}
\by И.~Д.~Михеев, Ф.~Х.~Вахитов
\paper Использование атомно-силовой микроскопии для оценки качества очистки и трибометрических свойств поверхности кремниевых пластин
\jour Компьютерная оптика
\yr 2019
\vol 43
\issue 3
\pages 507--511
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/co671}
\crossref{https://doi.org/10.18287/2412-6179-2019-43-3-507-511}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/co671
  • https://www.mathnet.ru/rus/co/v43/i3/p507
    • Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Компьютерная оптика
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:123
    PDF полного текста:27
    Список литературы:17
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024