|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
КОРОТКОЕ СООБЩЕНИЕ
Использование атомно-силовой микроскопии для оценки качества очистки и трибометрических свойств поверхности кремниевых пластин
И. Д. Михеев, Ф. Х. Вахитов Казанский национальный исследовательский технический университет им. А.Н. Туполева – КАИ
Аннотация:
Экспериментально исследованы различия в величинах адгезионных сил взаимодействия острия зонда атомно-силового микроскопа и очищенных поверхностей кремниевых пластин при их обработке изопропиловым спиртом и дистиллированной водой. Показано, что наличие на поверхности подложек молекул воды приводит к значительному (приблизительно в 5 раз) изменению этих сил. Установлено, что использование атомно-силового микроскопа позволяет оценивать относительную величину сил трения на малых участках поверхностей кремниевых пластин.
Ключевые слова:
атомно-силовая микроскопия, кремниевые пластины, трибометрические свойства.
Поступила в редакцию: 18.06.2018 Принята в печать: 09.04.2019
Образец цитирования:
И. Д. Михеев, Ф. Х. Вахитов, “Использование атомно-силовой микроскопии для оценки качества очистки и трибометрических свойств поверхности кремниевых пластин”, Компьютерная оптика, 43:3 (2019), 507–511
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/co671 https://www.mathnet.ru/rus/co/v43/i3/p507
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 123 | PDF полного текста: | 27 | Список литературы: | 17 |
|