|
Эта публикация цитируется в 13 научных статьях (всего в 13 статьях)
ДИФРАКЦИОННАЯ ОПТИКА, ОПТИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИИ
Методы оперативного контроля характеристик дифракционных и конформальных оптических элементов в процессе изготовления
А. Г. Полещук, В. П. Корольков, Р. К. Насыров, В. Н. Хомутов, А. С. Конченко Институт автоматики и электрометрии Сибирского отделения РАН, Новосибирск, Россия
Аннотация:
Развитие специализированных неразрушающих методов контроля оптических элементов с микрорельефом необходимо для освоения производства дифракционных, микрооптических и конформальных элементов. В лаборатории дифракционной оптики ИАиЭ СО РАН разработано и исследовано несколько различных подходов к характеризации разнообразных типов оптических элементов с микрорельефом на промежуточных и финальной стадии их изготовления, направленных на контроль погрешностей волнового фронта, глубины травления и дифракционной эффективности бинарных и многоуровневых элементов. В работе дан обзор разработанных методик и измерительных схем с учетом специфики параметров контролируемых элементов и областей их применения. Приведены результаты контроля конкретных изготовленных элементов.
Ключевые слова:
характеризация дифракционных оптических элементов, погрешность волнового фронта, контроль глубины травления, зеркальная сканирующая рефлектометрия, контроль дифракционной эффективности.
Поступила в редакцию: 01.09.2016 Принята в печать: 11.12.2016
Образец цитирования:
А. Г. Полещук, В. П. Корольков, Р. К. Насыров, В. Н. Хомутов, А. С. Конченко, “Методы оперативного контроля характеристик дифракционных и конформальных оптических элементов в процессе изготовления”, Компьютерная оптика, 40:6 (2016), 818–829
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/co332 https://www.mathnet.ru/rus/co/v40/i6/p818
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 232 | PDF полного текста: | 133 | Список литературы: | 28 |
|