Компьютерная оптика
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Компьютерная оптика:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Компьютерная оптика, 2016, том 40, выпуск 6, страницы 818–829
DOI: https://doi.org/10.18287/2412-6179-2016-40-6-818-829 (Mi co332) 		 
Эта публикация цитируется в 13 научных статьях (всего в 13 статьях)

ДИФРАКЦИОННАЯ ОПТИКА, ОПТИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИИ

Методы оперативного контроля характеристик дифракционных и конформальных оптических элементов в процессе изготовления

А. Г. Полещук, В. П. Корольков, Р. К. Насыров, В. Н. Хомутов, А. С. Конченко

Институт автоматики и электрометрии Сибирского отделения РАН, Новосибирск, Россия
PDF полного текста (859 kB) Список цитирования (13)
Список литературы:
PDF
HTML
DOI: https://doi.org/10.18287/2412-6179-2016-40-6-818-829
Аннотация: Развитие специализированных неразрушающих методов контроля оптических элементов с микрорельефом необходимо для освоения производства дифракционных, микрооптических и конформальных элементов. В лаборатории дифракционной оптики ИАиЭ СО РАН разработано и исследовано несколько различных подходов к характеризации разнообразных типов оптических элементов с микрорельефом на промежуточных и финальной стадии их изготовления, направленных на контроль погрешностей волнового фронта, глубины травления и дифракционной эффективности бинарных и многоуровневых элементов. В работе дан обзор разработанных методик и измерительных схем с учетом специфики параметров контролируемых элементов и областей их применения. Приведены результаты контроля конкретных изготовленных элементов.
Ключевые слова: характеризация дифракционных оптических элементов, погрешность волнового фронта, контроль глубины травления, зеркальная сканирующая рефлектометрия, контроль дифракционной эффективности.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский фонд фундаментальных исследований 14-29-07227-офи_м
Сибирское отделение Российской академии наук 43
112
Данная работа частично поддержана грантом РФФИ ОФИ-М № 14-29-07227 и междисциплинарными интеграционными проектами № 43 и 112 СО РАН.
Поступила в редакцию: 01.09.2016
Принята в печать: 11.12.2016
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: А. Г. Полещук, В. П. Корольков, Р. К. Насыров, В. Н. Хомутов, А. С. Конченко, “Методы оперативного контроля характеристик дифракционных и конформальных оптических элементов в процессе изготовления”, Компьютерная оптика, 40:6 (2016), 818–829
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{PolKorNas16}
\by А.~Г.~Полещук, В.~П.~Корольков, Р.~К.~Насыров, В.~Н.~Хомутов, А.~С.~Конченко
\paper Методы оперативного контроля характеристик дифракционных и конформальных оптических элементов в процессе изготовления
\jour Компьютерная оптика
\yr 2016
\vol 40
\issue 6
\pages 818--829
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/co332}
\crossref{https://doi.org/10.18287/2412-6179-2016-40-6-818-829}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/co332
  • https://www.mathnet.ru/rus/co/v40/i6/p818
    • Эта публикация цитируется в следующих 13 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Компьютерная оптика
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:232
    PDF полного текста:133
    Список литературы:28
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024