Компьютерная оптика
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Компьютерная оптика:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Компьютерная оптика, 2016, том 40, выпуск 4, страницы 482–488
DOI: https://doi.org/10.18287/2412-6179-2016-40-4-482-488 (Mi co242) 		 
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)

ДИФРАКЦИОННАЯ ОПТИКА, ОПТИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИИ

Разработка методов формирования и контроля заданного распределения толщины фоторезиста при изготовлении конформальных корректоров

В. П. Корольков, А. С. Конченко, В. В. Черкашин, Н. Г. Миронников

Институт автоматики и электрометрии Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
PDF полного текста (612 kB) Список цитирования (3)
Список литературы:
PDF
HTML
DOI: https://doi.org/10.18287/2412-6179-2016-40-4-482-488
Аннотация: В работе обсуждаются проблемы изготовления и контроля качества конформальных корректоров для мощных твердотельных YAG:Nd3+ лазеров. Предложено использовать метод безмасочной проекционной фотолитографии как альтернативу фотолитографии с зазором на основе растрированных полутоновых шаблонов. Рассмотрено применение метода зеркальной спектроскопической рефлектометрии для контроля формы корректоров на стадии рельефа в фоторезисте. Совокупность использованных методов значительно повышает производительность изготовления корректоров в сочетании с удешевлением процесса.
Ключевые слова: зеркальная спектроскопическая рефлектометрия, безмасочная фотолитография, конформальные корректоры, измерение толщины тонких пленок, профилометрия.
Поступила в редакцию: 30.05.2016
Принята в печать: 16.08.2016
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: В. П. Корольков, А. С. Конченко, В. В. Черкашин, Н. Г. Миронников, “Разработка методов формирования и контроля заданного распределения толщины фоторезиста при изготовлении конформальных корректоров”, Компьютерная оптика, 40:4 (2016), 482–488
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KorKonChe16}
\by В.~П.~Корольков, А.~С.~Конченко, В.~В.~Черкашин, Н.~Г.~Миронников
\paper Разработка методов формирования и контроля заданного распределения толщины фоторезиста при изготовлении конформальных корректоров
\jour Компьютерная оптика
\yr 2016
\vol 40
\issue 4
\pages 482--488
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/co242}
\crossref{https://doi.org/10.18287/2412-6179-2016-40-4-482-488}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/co242
  • https://www.mathnet.ru/rus/co/v40/i4/p482
    • Эта публикация цитируется в следующих 3 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Компьютерная оптика
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024