|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
ДИФРАКЦИОННАЯ ОПТИКА, ОПТИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИИ
Исследование рельефа пленочных дифракционных оптических элементов
Т. П. Каминская, В. В. Попов, А. М. Салецкий Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Аннотация:
Методом сканирующей зондовой микроскопии исследованы параметры рельефа плёночных отражающих дифракционных оптических элементов, изготовленных по разным технологиям: традиционной лазерной записи радужных голограмм и технологиям «Dot matrix», «Kinemax» и электронно-лучевой литографии. Проведена оценка влияния технологии на параметры рельефа ДОЭ. Измерения показали, что в большинстве технологий высота рельефа может отличаться от оптимальной более чем на 100 %, и удовлетворительный визуальный эффект достигается только благодаря тому, что присутствуют решетки с разными высотой и профилем и результат усредняется. Прямые измерения рельефа выявляют причину низкой дифракционной эффективности и тем самым показывают путь к ее увеличению.
Ключевые слова:
дифракционные оптические элементы, атомно-силовая микроскопия, дифракционная эффективность, параметры рельефа.
Поступила в редакцию: 11.03.2016 Исправленный вариант: 14.04.2016
Образец цитирования:
Т. П. Каминская, В. В. Попов, А. М. Салецкий, “Исследование рельефа пленочных дифракционных оптических элементов”, Компьютерная оптика, 40:2 (2016), 215–224
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/co135 https://www.mathnet.ru/rus/co/v40/i2/p215
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 172 | PDF полного текста: | 68 | Список литературы: | 24 |
|