Компьютерная оптика
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Компьютерная оптика:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Компьютерная оптика, 2023, том 47, выпуск 1, страницы 62–67
DOI: https://doi.org/10.18287/2412-6179-CO-1194
(Mi co1103)
 

Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)

ДИФРАКЦИОННАЯ ОПТИКА, ОПТИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИИ

Оптимизация, изготовление и исследование кремниевой бинарной субволновой цилиндрической линзы терагерцового диапазона

С. И. Харитоновab, В. С. Павельевab, Н. Л. Казанскийab, Ю. С. Стрелковab, К. Н. Тукмаковa, А. С. Решетниковa, С. В. Ганчевскаяb, В. В. Герасимовcd, Б. А. Князевcd

a Самарский национальный исследовательский университет имени академика С. П. Королева
b Институт систем обработки изображений РАН - филиал ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН, Самара, Россия, г. Самара
c Новосибирский государственный университет
d Институт ядерной физики им. Г. И. Будкера СО РАН, г. Новосибирск
Список литературы:
Аннотация: Рассмотрена задача оптимизации и изготовления субволновой бинарной цилиндрической пропускающей дифракционной линзы с фокусным расстоянием $f=300$ мм для длины волны $\lambda=141$ мкм. В качестве материала подложки дифракционной линзы использовался высокоомный кремний. Расчётное значение угла падения освещающего пучка составляло $\pi/6$. Параметрами оптимизации были выбраны высота профиля дифракционной линзы и коэффициент заполнения штриха. Главной целью оптимизации конструкции было увеличение дифракционной эффективности линзы. Расчёт дифракционной эффективности дифракционной линзы осуществлялся методом Фурье-мод. Дифракционная линза изготовлена методом плазмохимического травления (Бош-процесс) поверхности кремниевой подложки. Оценка дифракционной эффективности рассчитанной линзы составила $e=70\%$. Однако экспериментально измеренная дифракционная эффективность была значительно меньше расчётной. В статье приведён анализ снижения дифракционной эффективности, связанного с 1) технологическими погрешностями формирования дифракционного микрорельефа; 2) деструктивной интерференцией излучения в случае отсутствия учёта толщины кремниевой подложки при расчёте микрорельефа. Приведены рекомендации по расчёту микрорельефа с учётом толщины подложки.
Ключевые слова: бинарная линза, субволновый микрорельеф, терагерцовое излучение, дифракционные оптические элементы
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский научный фонд 19-72-20202
Работа выполнена при поддержке Российского научного фонда (проект № 19-72-20202) на уникальной установке «Новосибирский лазер на свободных электронах» с использованием оборудования «Сибирского центра синхротронного и терагерцового излучения».
Поступила в редакцию: 15.07.2022
Принята в печать: 11.10.2022
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: С. И. Харитонов, В. С. Павельев, Н. Л. Казанский, Ю. С. Стрелков, К. Н. Тукмаков, А. С. Решетников, С. В. Ганчевская, В. В. Герасимов, Б. А. Князев, “Оптимизация, изготовление и исследование кремниевой бинарной субволновой цилиндрической линзы терагерцового диапазона”, Компьютерная оптика, 47:1 (2023), 62–67
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KhaPavKaz23}
\by С.~И.~Харитонов, В.~С.~Павельев, Н.~Л.~Казанский, Ю.~С.~Стрелков, К.~Н.~Тукмаков, А.~С.~Решетников, С.~В.~Ганчевская, В.~В.~Герасимов, Б.~А.~Князев
\paper Оптимизация, изготовление и исследование кремниевой бинарной субволновой цилиндрической линзы терагерцового диапазона
\jour Компьютерная оптика
\yr 2023
\vol 47
\issue 1
\pages 62--67
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/co1103}
\crossref{https://doi.org/10.18287/2412-6179-CO-1194}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/co1103
  • https://www.mathnet.ru/rus/co/v47/i1/p62
  • Эта публикация цитируется в следующих 4 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Компьютерная оптика
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024