Computational nanotechnology
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Comp. nanotechnol.:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Computational nanotechnology, 2022, том 9, выпуск 4, страницы 11–16
DOI: https://doi.org/10.33693/2313-223X-2022-9-4-11-16 (Mi cn389) 		 
НАНОТЕХНОЛОГИИ И НАНОМАТЕРИАЛЫ

Программа для расчета проективного пробега и страгглинга ионов в твердом теле с использованием аппроксимации В.В. Юдина

Ш. Б. Утамурадоваa, Р. А. Муминовb, В. Г. Дыскинc, О. Ф. Тукфатуллинa

a Научно-исследовательский институт физики полупроводников и микроэлектроники при Национальном университете Узбекистана имени Мирзо Улугбека
b Физико-технический институт Научно-производственного объединения «Физика-Солнце» Академии наук Республики Узбекистан
c Институт материаловедения Научно-производственного объединения «Физика-Солнце» Академии наук Республики Узбекистан
PDF полного текста (605 kB)
DOI: https://doi.org/10.33693/2313-223X-2022-9-4-11-16
Аннотация: Ионная имплантация является основой многих технологических процессов электроники и микроэлектроники. Основными величинами, характеризующими внедрение ионов в твердое тело, являются: длина пробега иона до полной его остановки, среднее значение проекции полного пробега на направление движения $\bar R_p$ и среднее нормальное отклонение проекции пробега $\Delta\bar R_p$. Для расчета этих величин созданы компьютерные программы SRIM, TRIM, DYNE, которые требуют инсталляции на персональный компьютер и занимают большой объем жесткого диска, что не всегда оправдано в инженерной практике. В данной работе описан алгоритм простой, не требующей инсталляции, программы для вычисления $\bar R_p$ и $\Delta\bar R_p$. Основой алгоритма программы является теория Линхарда-Шарфа-Шиота.
Ключевые слова: ион, мишень, проективный пробег, страгглинг, упругие потери энергии, неупругие потери энергии.
Поступила в редакцию: 23.06.2022
Принята в печать: 30.07.2022
Тип публикации: Статья
УДК: 539.1
Образец цитирования: Ш. Б. Утамурадова, Р. А. Муминов, В. Г. Дыскин, О. Ф. Тукфатуллин, “Программа для расчета проективного пробега и страгглинга ионов в твердом теле с использованием аппроксимации В.В. Юдина”, Comp. nanotechnol., 9:4 (2022), 11–16
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{UtaMumDys22}
\by Ш.~Б.~Утамурадова, Р.~А.~Муминов, В.~Г.~Дыскин, О.~Ф.~Тукфатуллин
\paper Программа для расчета проективного пробега и страгглинга ионов в твердом теле с использованием аппроксимации В.В. Юдина
\jour Comp. nanotechnol.
\yr 2022
\vol 9
\issue 4
\pages 11--16
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/cn389}
\crossref{https://doi.org/10.33693/2313-223X-2022-9-4-11-16}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/cn389
  • https://www.mathnet.ru/rus/cn/v9/i4/p11
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Computational nanotechnology
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024