Моделирование величин коэффициентов отражения и пропускания для многослойных покрытий

Разработан способ расчета многослойных покрытий с заданными оптическими параметрами, проведено моделирование высокоотражающих покрытий и их воспроизведение на вакуумно-технологическом оборудовании методом ионно-плазменного напыления. Особенностью данного способа является использование модельной функции электромагнитной волны, в которой поглощение зависит только от координаты, нормальной к поверхности. Такой подход соответствует ситуации, когда поперечные размеры пучка много больше толщин покрытий, и позволяет учитывать тот факт, что амплитуда электромагнитной волны одинакова в различных точках на равном удалении от поверхности. На основе предложенного способа расчета предложен метод бесконтактного контроля толщин тонких пленок путем сравнения фактических и расчетных оптических характеристик отдельных слоев покрытий. Проведено сравнение экспериментальных коэффициентов пропускания многослойных зеркал с данными расчетной модели.