математическое моделирование,
внедрение частиц,
нагрев,
диффузия,
напряжения,
деформации,
время релаксации.
Основные темы научной работы
Математическое моделирование начальной стадии процесса взаимодействия потока частиц с поверхностью мишени
Основные публикации:
Е.С. Парфенова, “Математическое моделирование начальной стадии процесса ионной имплантации”, Изв. Вузов. Физика, 58:6/2 (2015), 226-230
В.Н. Демидов, А.Г. Князева , Е.С. Ильина, “Особенности моделирования диффузионных процессов в упругом теле при его поверхностной модификации частицами”, Вестник ПНИПУ. Механика, 2012, № 3, 25-49
E.S. Parfenova, “The Mathematical Modeling of the Initial Stage of Ion Implantation into the Target with Coating”, Key Engineering Materials, 743 (2017), 138-141
А. Г. Князева, Е. С. Парфенова, “Нелинейная связанная модель обработки поверхности потоком частиц с учетом формирования новой фазы”, Прикл. мех. техн. физ., 62:4 (2021), 124–133; A. G. Knyazeva, E. S. Parfenova, “Nonlinear coupled model of surface treatment by a particle beam taking into account the formation of a new phase”, J. Appl. Mech. Tech. Phys., 62:4 (2021), 633–641
Е. С. Парфенова, “Распределение концентрации имплантируемой примеси при обработке поверхности последовательными импульсами”, Вестн. Томск. гос. ун-та. Матем. и мех., 2019, № 62, 105–118
2018
3.
Е. С. Парфенова, А. Г. Князева, “Начальная стадия формирования переходного слоя между пленкой и подложкой при нагреве сильноточным электронным пучком”, Вестн. Томск. гос. ун-та. Матем. и мех., 2018, № 54, 103–117
Обратная связь: