|
Неустроев Степан Архипович
|
В базах данных Math-Net.Ru |
Публикаций: |
1 |
Научных статей: |
1 |
Статистика просмотров: |
Эта страница: | 83 | Страницы публикаций: | 74 |
|
|
профессор |
|
доктор технических наук (1974) |
Дата рождения: |
8.07.1926 |
Сайт: |
https://www.miet.ru/person/43489; http://ivuz-e.ru/issues/5-_2021/neustroevu_stepanu_arkhipovichu_95_let/ |
Научная биография: |
Свою трудовую деятельность С.А. Неустроев начал в 1942 г. на Урале, на заводе по производству боеприпасов, и проработал там до конца Великой Отечественной войны. Окончив Уральский политехнический институт, Степан Архипович работал в системе Министерства среднего машиностроения. Разработанные при его участии технологические процессы и аппараты были внедрены в производство. В 1963 г. С.А. Неустроев защитил кандидатскую диссертацию и продолжил свою трудовую деятельность в НИИ точного машиностроения в г. Зеленограде, а с 1969 г. - в МИЭТ.
По инициативе С.А. Неустроева в НИИ точного машиностроения впервые для разложения летучих элементоорганических соединений с целью получения твёрдых покрытий и химически активных частиц была применена плазма газового ВЧ-разряда. С.А. Неустроев разработал плазмохимические установки для осаждения плёнок диэлектриков, травления фоторезистов, кремния и его соединений, металлов. В дальнейшем такими установками были оснащены предприятия электронной промышленности. |
|
|
https://www.mathnet.ru/rus/person110479 |
|
Список публикаций на Google Scholar |
|
Список публикаций на ZentralBlatt |
|
https://elibrary.ru/author_items.asp?authorid=251268
|
|
|
|
Публикации в базе данных Math-Net.Ru |
Цитирования |
|
1972 |
1. |
С. А. Неустроев, Е. Б. Соколов, “Механизм действия электронного луча на органические фоторезисты”, Усп. хим., 41:9 (1972), 1713–1734 ; S. A. Neustroev, E. B. Sokolov, “Mechanism of the Action of an Electron Beam on Organic Photoresists”, Russian Chem. Reviews, 41:9 (1972), 795–806 |
2
|
|
|
Организации |
|