Персоналии
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
 
Неустроев Степан Архипович

В базах данных Math-Net.Ru
Публикаций: 1
Научных статей: 1

Статистика просмотров:
Эта страница:83
Страницы публикаций:74
профессор
доктор технических наук (1974)
Дата рождения: 8.07.1926
Сайт: https://www.miet.ru/person/43489; http://ivuz-e.ru/issues/5-_2021/neustroevu_stepanu_arkhipovichu_95_let/

Научная биография:

Свою трудовую деятельность С.А. Неустроев начал в 1942 г. на Урале, на заводе по производству боеприпасов, и проработал там до конца Великой Отечественной войны. Окончив Уральский политехнический институт, Степан Архипович работал в системе Министерства среднего машиностроения. Разработанные при его участии технологические процессы и аппараты были внедрены в производство. В 1963 г. С.А. Неустроев защитил кандидатскую диссертацию и продолжил свою трудовую деятельность в НИИ точного машиностроения в г. Зеленограде, а с 1969 г. - в МИЭТ.

По инициативе С.А. Неустроева в НИИ точного машиностроения впервые для разложения летучих элементоорганических соединений с целью получения твёрдых покрытий и химически активных частиц была применена плазма газового ВЧ-разряда. С.А. Неустроев разработал плазмохимические установки для осаждения плёнок диэлектриков, травления фоторезистов, кремния и его соединений, металлов. В дальнейшем такими установками были оснащены предприятия электронной промышленности.


https://www.mathnet.ru/rus/person110479
Список публикаций на Google Scholar
Список публикаций на ZentralBlatt
https://elibrary.ru/author_items.asp?authorid=251268

Публикации в базе данных Math-Net.Ru Цитирования
1972
1. С. А. Неустроев, Е. Б. Соколов, “Механизм действия электронного луча на органические фоторезисты”, Усп. хим., 41:9 (1972),  1713–1734  mathnet; S. A. Neustroev, E. B. Sokolov, “Mechanism of the Action of an Electron Beam on Organic Photoresists”, Russian Chem. Reviews, 41:9 (1972), 795–806  scopus 2

Организации
 
  Обратная связь:
 Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024