|
|
Публикации в базе данных Math-Net.Ru |
Цитирования |
|
1983 |
1. |
В. В. Гусев, В. М. Долгополов, Д. И. Словецкий, Е. Ф. Шелыхманов, “Особенности спектра плазмы ВЧ-разряда при травлении алюминия”, ТВТ, 21:1 (1983), 22–29 ; V. V. Gusev, V. M. Dolgopolov, D. I. Slovetskii, E. F. Shelykhmanov, “Spectral features of a HF discharge plasma in etching aluminum”, High Temperature, 21:1 (1983), 19–25 |
|